Функціональні електролітичні покриття зі станум-нікелевих сплавів для інтегральних мікросхем

Chem. Met. Alloys 10 (2017) 50-53

https://doi.org/10.30970/cma10.0353

¹ Інститут загальної та неорганічної хімії ім. В.І. Вернадського, просп. Академіка Палладіна 32/34, 03680 Київ, Україна

* Контактна особа. Тел.: +380-44-4243311; e-mail: kublan@ukr.net

Запропоновано оптимальний склад полілігандного амонійно-хлоридно-фторидного електроліту та оптимізовано умови електролізу для осадження функціональних покриттів зі станум-нікелевого сплаву. Найбільш перспективним сплавом для заміни золотого покриття в мікроелектроніці виявлено станум-нікелевий сплав із вмістом стануму 65 мас.% та вмістом нікелю 35 мас.%. Показано, що отримані покриття придатні для пайки з використанням низькотемпературних припоїв і безкислотних флюсів та для ультразвукового точкового зварювання.

СЕМ покриттів електролітичного станум-нікелевого сплаву, нанесеного з амонійно-хлоридно-фторидного електроліту.

Ключові слова

Мікроелектроніка / Функціональні покриття / Комплексні сполуки / Електроосадження / Станум-нікелевий сплав