Функціональні електролітичні покриття зі
станум-нікелевих сплавів для інтегральних мікросхем
Chem.
Met. Alloys 10 (2017) 50-53
https://doi.org/10.30970/cma10.0353
В.С. КУБЛАНОВСЬКИЙ1*,
В.Н. НІКІТЕНКО1
1 Інститут загальної та неорганічної хімії ім. В.І. Вернадського, просп.
Академіка Палладіна 32/34, 03680 Київ, Україна
* Контактна особа. Тел.: +380-44-4243311; e-mail:
kublan@ukr.net
Запропоновано оптимальний склад полілігандного амонійно-хлоридно-фторидного
електроліту та оптимізовано умови електролізу для осадження функціональних
покриттів зі станум-нікелевого сплаву. Найбільш
перспективним сплавом для заміни золотого покриття в мікроелектроніці виявлено станум-нікелевий сплав із вмістом стануму
65 мас.% та вмістом нікелю 35 мас.%. Показано, що отримані покриття придатні
для пайки з використанням низькотемпературних припоїв і безкислотних
флюсів та для ультразвукового точкового зварювання.
СЕМ покриттів електролітичного станум-нікелевого сплаву, нанесеного з амонійно-хлоридно-фторидного
електроліту.
Ключові слова
Мікроелектроніка / Функціональні
покриття / Комплексні сполуки / Електроосадження / Станум-нікелевий сплав